MF-OV系列無(wú)氧烘箱設(shè)備是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用來(lái)滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)集成電路配套烘箱,它具有先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念與工藝技術(shù),可滿(mǎn)足不同產(chǎn)品的品質(zhì)要求。
用途特點(diǎn):
本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產(chǎn)工藝;該設(shè)備采用加熱循環(huán)方式,進(jìn)行精確的溫度控制。
技術(shù)特點(diǎn):
采用水平送風(fēng)系統(tǒng)的高性能腔體;
烘箱采用雙體式腔設(shè)計(jì),內(nèi)腔采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了設(shè)備在運(yùn)行時(shí)的腔體內(nèi)清潔和預(yù)防了產(chǎn)品表面的沾污;
整體框架的高度和水平度可通過(guò)地腳螺栓實(shí)現(xiàn)微調(diào);
優(yōu)異的熱工性能,使加熱性能大大提高;
雙層密封設(shè)計(jì),保證更低的能耗,滿(mǎn)足清潔生產(chǎn)的需求。
過(guò)程控制:
多段式程序控制,完全滿(mǎn)足現(xiàn)場(chǎng)各種工藝需求;
與配套AUTORECIPE軟件,實(shí)時(shí)溫度監(jiān)控軟件,可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運(yùn)行參數(shù)管理與生產(chǎn)運(yùn)行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。
設(shè)備特點(diǎn):
堅(jiān)持工藝優(yōu)先的設(shè)計(jì)原則,即先制定最為優(yōu)化的工藝配置,再確定設(shè)備結(jié)構(gòu)和布局,以確保工藝最穩(wěn)定,材料利用最合理,力求提升設(shè)備穩(wěn)定性和降低運(yùn)行成本;
本著人性化的設(shè)計(jì)理念,即在細(xì)節(jié)上充分考慮現(xiàn)場(chǎng)情況,并不斷完善設(shè)計(jì),使現(xiàn)場(chǎng)使用者更加方便地使用,維護(hù)本烘箱;
可以提供各種標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)腔體設(shè)計(jì),包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;
溫度均勻度依照GBT30435-2013;
設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標(biāo)準(zhǔn);
提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、升溫速率、溫度恢復(fù)時(shí)間等工藝條件;
滿(mǎn)足SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備接口,工廠軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對(duì)烘箱進(jìn)行全面控制和監(jiān)控;
提供相應(yīng)的檢測(cè)報(bào)告,烘箱溫度校正報(bào)告、烘箱噪音檢測(cè)、烘箱表面SGS檢測(cè)等;
配套完整的產(chǎn)品使用手冊(cè)及說(shuō)明。
型號(hào) | MF-OV**** | ||||
1800 | 2640 | 2700 | 4500 | ||
循環(huán)系統(tǒng) | 熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng) | ||||
性能參數(shù) | 溫度范圍 | RT. + 25°C ~250°C | |||
溫度波動(dòng)范圍 | (0-100℃)<±1℃(100-200℃)<±2℃ | ||||
溫度均勻性 | (0-100℃)<1℃(100-200℃)<2℃ | ||||
升溫時(shí)間 | < 30Min(175℃)& < 40Min(200℃) | ||||
烘箱結(jié)構(gòu) | 烘箱外腔體選材 | 烤漆板、樹(shù)脂類(lèi)板、不銹鋼 | |||
烘箱內(nèi)腔體選材 | SUS304鏡面不銹鋼 | ||||
保溫材料 | 高密度陶瓷纖維棉 | ||||
加熱 | 無(wú)塵加熱絲或不銹鋼加熱管 | ||||
冷卻方式 | 水冷卻、風(fēng)冷卻、多段式冷卻 | ||||
內(nèi)腔尺寸W *H *D (mm) | 800 *640* 960 | 640 *640 * 550 | 700 *640 * 560 | 500 *640* 500 | |
外形尺寸W * H *D (mm) | 1500 * 900 * 1830 | 1400* 1050 * 1900 | 1460 * 1050 * 1900 | 2340 * 1050 * 1900 | |
容積 (L) | 490 | 450 | 490 | 640 | |
使用環(huán)境 | 溫度范圍: 小于 + 45°C 濕度范圍: 小于 75%rh | ||||
動(dòng)力配置 | 電源配置 | AC380V 3PH | AC380V 3PH | AC380V 3PH | AC380V 3PH |
烘箱功率 | 13KVA | 20KVA | 20KVA | 40KVA |
基本功能配置:
漏電保護(hù)器;
電磁門(mén)鎖;
加熱保險(xiǎn)絲;
電源缺相保護(hù);
超溫保護(hù)器;
低溫保護(hù)器;
加熱器防干燒保護(hù);
馬達(dá)轉(zhuǎn)速檢測(cè)保護(hù);
UPS;
N2壓力檢測(cè);
N2流量檢測(cè);
水流量檢測(cè);
功能選配:
腔體氧含量在線(xiàn)檢測(cè);
高低溫聯(lián)動(dòng)檢測(cè);
腔體壓力檢測(cè);
自動(dòng)排風(fēng)閥;
廢氣沉淀回收裝置;
腔體空燒排污;
腔體內(nèi)除塵過(guò)濾網(wǎng)裝置;
服務(wù)熱線(xiàn):021-64307580