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MF-OV系列無(wú)氧烘箱(水平送風(fēng))
    發(fā)布時(shí)間: 2023-06-28 09:55    

MF-OV系列無(wú)氧烘箱設(shè)備是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用來(lái)滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)集成電路配套烘箱,它具有先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念與工藝技術(shù),可滿(mǎn)足不同產(chǎn)品的品質(zhì)要求。


MF-OV系列無(wú)氧烘箱(水平送風(fēng))

用途特點(diǎn):

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產(chǎn)工藝;該設(shè)備采用加熱循環(huán)方式,進(jìn)行精確的溫度控制。

技術(shù)特點(diǎn): 

采用水平送風(fēng)系統(tǒng)的高性能腔體;

烘箱采用雙體式腔設(shè)計(jì),內(nèi)腔采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了設(shè)備在運(yùn)行時(shí)的腔體內(nèi)清潔和預(yù)防了產(chǎn)品表面沾污

整體框架的高度和水平度可通過(guò)地腳螺栓實(shí)現(xiàn)微調(diào);

優(yōu)異的熱工性能,使加熱性能大大提高

雙層密封設(shè)計(jì),保證更低的能耗,滿(mǎn)足清潔生產(chǎn)的需求。

過(guò)程控制:

多段式程序控制,完全滿(mǎn)足現(xiàn)場(chǎng)各種工藝需求;

與配套AUTORECIPE軟件,實(shí)時(shí)溫度監(jiān)控軟件,可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運(yùn)行參數(shù)管理與生產(chǎn)運(yùn)行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

設(shè)備特點(diǎn):

堅(jiān)持工藝優(yōu)先的設(shè)計(jì)原則即先制定最為優(yōu)化的工藝配置,再確定設(shè)備結(jié)構(gòu)和布局,以確保工藝最穩(wěn)定,材料利用最合理,力求提升設(shè)備穩(wěn)定性和降低運(yùn)行成本;

本著人性化的設(shè)計(jì)理念即在細(xì)節(jié)上充分考慮現(xiàn)場(chǎng)情況,并不斷完善設(shè)計(jì),使現(xiàn)場(chǎng)使用者更加方便地使用,維護(hù)本烘箱;

可以提供各種標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)腔設(shè)計(jì),包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

溫度均勻度依照GBT30435-2013

設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標(biāo)準(zhǔn)

提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、升溫速率、溫度恢復(fù)時(shí)間等工藝條件;

滿(mǎn)足SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備接口,工廠軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對(duì)烘箱進(jìn)行全面控制和監(jiān)控;

提供相應(yīng)的檢測(cè)報(bào)告,烘箱溫度校正報(bào)告、烘箱噪音檢測(cè)、烘箱表面SGS檢測(cè)等;

配套完整的產(chǎn)品使用手冊(cè)及說(shuō)明

   

型號(hào)

MF-OV****

1800

2640

2700

4500

循環(huán)系統(tǒng)

熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

性能參數(shù)

溫度范圍

RT. + 25°C ~250°C

溫度波動(dòng)范圍

0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

溫度均勻性

0-100℃<1℃100-200℃<2℃

升溫時(shí)間

< 30Min175℃&  < 40Min200℃

烘箱結(jié)構(gòu)

烘箱外腔體選材

烤漆板、樹(shù)脂類(lèi)板、不銹鋼

烘箱內(nèi)腔體選材

SUS304鏡面不銹鋼

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

無(wú)塵加熱絲或不銹鋼加熱管

冷卻方式

水冷卻、風(fēng)冷卻、多段式冷卻

內(nèi)腔尺寸W *H *D mm

800 *640* 960

640 *640 * 550

700 *640 * 560

500 *640* 500

外形尺寸W * H *D mm

1500 * 900 * 1830

1400* 1050 * 1900

1460 * 1050 * 1900

2340 * 1050 * 1900

容積 (L)

490

450

490

640

使用環(huán)境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

動(dòng)力配置

電源配置

AC380V 3PH

AC380V 3PH

AC380V 3PH

AC380V 3PH

烘箱功率

13KVA

20KVA

20KVA

40KVA


基本功能配置:

漏電保護(hù)器;

電磁門(mén)鎖;

加熱保險(xiǎn)絲;

電源缺相保護(hù);

超溫保護(hù)器;

低溫保護(hù)器;

加熱器防干燒保護(hù);

馬達(dá)轉(zhuǎn)速檢測(cè)保護(hù);

UPS

N2壓力檢測(cè);

N2流量檢測(cè);

水流量檢測(cè);

功能選配:

腔體氧含量在線(xiàn)檢測(cè);

高低溫聯(lián)動(dòng)檢測(cè);

腔體壓力檢測(cè);

自動(dòng)排風(fēng)閥;

廢氣沉淀回收裝置;

腔體空燒排污;

腔體內(nèi)除塵過(guò)濾網(wǎng)裝置;










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